碳化硅真空脱脂烧结炉

一、主要参数

1、炉型结构：卧式，单室，炉体炉门采用双层水冷，前开门结构。由炉体、加热室、真空系统、充气系统、水冷系统、电控及供电系统组成。

2、极限温度：1300℃

3、工作区尺寸：600*400*400mm（L*W*H）

4、设备总功率：38 KW（含加热系统、真空机组、制冷机）

5、电源频率：50Hz

6、电源电压：三相380 V（±10V）

7、占地面积：约5 m2   （宽2030*深1515*高1950）

二、加热系统

1、加热区尺寸：600×390mm（L×ø）

2、加热功率：30 KW（实际功率可调）

3、加热元件：钼片

4、隔热组件：钼+不锈钢

5、温度测量：S型热电偶

6、控温精度：±1℃

7、升温速率 MAX：由室温升至1000℃小于90min（空炉）

8、加热室：采用圆筒形加热室结构。隔热屏采用多层钼结构，各层之间采用优质99刚玉陶瓷，发热体为钼片，钼片均匀环绕在隔热屏周围，实现良好的温度均匀性。具有使用寿命长、隔热保温性能好、真气量较少。外框使用不锈钢（310S）板材料，并且焊接多道加强筋以保证不变形。

9、加热控制：采用PID智能控温模块设计，可编辑30段升温曲线，存贮20组工艺配方，组合PLC等实现**压、**温、过流等自动报警保护功能，10寸液晶触摸屏显示操作，具有操作方便，功能强大，稳定性好等特点。

三、真空系统

1、真空配置： 一台复合分子泵FB-1600和一台旋片机械泵BSV-60

2、极限真空：≤6.67*10-4Pa（空载、冷态、经净化）；

3、工作真空：≤6.67*10-3Pa

4、压 升 率：1Pa/h（烘烤后、清洁、空载、冷态下）

5、真空测量：复合真空计ZDF5227BV01

     测量范围：1.0*105~1.0*10-5Pa

6、真空机组功率：4 KW

7、优点：效率高、无污染、低能耗、低噪音。