一、加热系统
1、加热区尺寸:600*390mm(L×ø)
2、加热功率:25 KW
3、加热元件:钼镧合金
4、隔热组件:钼镧合金+不锈钢
5、温度测量:N型热电偶
6、控温精度:±1℃
7、升温速率 MAX:由室温升至1000℃小于90min(空炉) 建议10℃/min,较快≤20℃/min
8、加热室:采用圆筒形加热室结构。隔热屏采用多层钼结构,各层之间采用优质99刚玉陶瓷,发热体为钼片,钼片均匀环绕在隔热屏周围,实现良好的温度均匀性。具有使用寿命长、隔热保温性能好、真空放气量较少。外框使用不锈钢(310S)板材料,并且焊接多道加强筋以保证不变形。
9、加热控制:采用PID智能控温模块设计,可编辑30段升温曲线,存贮多组工艺配方,组合PLC等实现**压、**温、过流等自动报警保护功能,10寸液晶触摸屏显示操作,具有操作方便,功能强大,稳定性好等特点。
二、真空系统
1、真空配置: 一台复合分子泵FB-1600、一台旋片机械泵BSV-40;
2、极限真空:≤6.67*10-4Pa(空载、冷态、经净化);
3、工作真空:≤6.67*10-3Pa;
4、真空测量: 复合真空计ZDF5227A
测量范围 1.0*105~1.0*10-5Pa
5、真空机组功率:4 Kw
6、优点:效率高、无污染、低能耗、低噪音。
7、压升率:1Pa/h
三、水冷系统:
真空炉炉体、炉门、真空机组、水冷电极都需要冷却水。该系统由主供水管分配到各冷却部位,采用闭式水循环系统,每个电极冷却均配有水流量观察仪,主管路配备水压报警系统。进水有分支接到自来水管道上,以备停电时紧急使用。
四、安全系统:
安全系统包括:停水、驱动气欠压、**温、加热过流、旋片泵、分子泵,设备具有自检、故障自诊断、自动保护、防止误操作等功能。并具有声光报警提示和具备相应的联锁、互锁保护。